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在選擇壓電載物臺時可先看本文!

更新時間:2025-08-28      點擊次數:839

壓電載物臺是一種基于壓電材料逆壓電效應實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性運動控制的精密設備,廣泛應用于顯微操作、半導體檢測、光子對準、原子力顯微鏡及生物細胞微操作等領域。其特點有:

高精度定位:位移精度高,可達納米級甚至亞納米級。

快速響應:響應速度快,高頻響應的壓電驅動器支持動態(tài)模式,可減少圖像失真。

無摩擦運動:采用柔性鉸鏈導向機構,利用彈性變形實現(xiàn)無摩擦導向,確保運動過程的平穩(wěn)性和重復性,無需擔心磨損和潤滑問題。

多軸運動能力:常見的設備采用多層壓電陶瓷堆疊結構,能夠在 XYZ 三個方向上獨立或聯(lián)動控制,從而實現(xiàn)二維平面掃描或三維空間定位。

在選購壓電載物臺時可關注以下幾個方面:

1、行程與精度:根據應用需求選擇行程(納米、微米或毫米級)和定位精度(亞納米、納米或微米級)。

2、負載能力:確認載物臺需推動的物體重量,選擇支持相應負載的產品。

3、自由度:確定所需運動方向。例如,顯微操作可能需要XYZ三維定位。

4、動態(tài)性能:評估響應速度和剛度/推力。

5、環(huán)境適應性:根據工作環(huán)境選擇是否支持真空、無磁或特定溫度范圍。

6、控制系統(tǒng):開環(huán)系統(tǒng)成本低、速度快,但精度受蠕變和遲滯影響;閉環(huán)系統(tǒng)通過集成傳感器實時反饋,精度更高但更復雜昂貴。 

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